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酸性廢氣處理流程及應用實例

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集成電路工藝過程中產生的酸性氣體,經過酸排氣配管至入口的靜壓箱,經過洗滌塔至排放口的靜壓箱,除去了酸性物質后,經處理過的氣體經過排氣風機排放到大氣中。洗滌塔有循環泵、循環水流量計、pH計、液位計等監控系統,用氫氧化鈉作為中和的化學品,通過測定循環水的pH值來控制氫氧化鈉的注入泵開關。經過排氣處理的處理水集中排放至工廠的廢水處理系統處理,達到工業排放標準后排放。某FAB的酸性廢氣處理流程圖,采用的多級填料方式,通過循環泵將NaOH溶液加壓并不斷從噴嘴中以霧狀噴出,噴出的NaOH溶液和廢氣中的酸性物質起中和反應,從而達到凈化處理目的,必要時。可以添加NaCIO進行循環水殺菌處理。處理裝置中的填料可以分散氣流和水流,增加接觸面積使酸性物質與NaOH充分接觸,提高去除效率,此種處理裝置處理效率高,阻力小且比較穩定。酸性廢氣處理系統入口,濃度分別為20mg,出口濃度都為lmg;HF和HCl人口濃度分別為22.4ppm和12.3ppm,出口濃度分別為1.12ppm和0.62ppm,處理效率可達95%。另外在此流程中,風機設計在處理裝置后,這樣風機的軸承與腐蝕性廢氣隔絕,不易被腐蝕,并且可以確保處理裝置連接處不因正壓而導致漏風。