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集成電路生產線一般是24小時運行的流水線,廢氣處理系統的設計應安全可靠。廢氣處理系統的人口靜壓不能波動太大,否則輕則導致工藝設備的報警,重則導致芯片的報廢,只能在年度定期檢修時可以考慮維持一定的靜壓。設計時必須考慮排風機的余量,排風機為變頻風機,設計為N+1方式。比如某工廠(FAB),而在實際的設計中,必須設計5臺風機,而不是4臺。這樣平常運行時,有5臺變頻風機通過控制入口靜壓根據處理風量自動調整風機的頻率,一旦有一臺風機有故障時,可以通過4臺風機高速運行,確保人口靜壓的穩定。另外廢氣系統的制作材料也很關鍵,必須安全可靠。早期的酸堿性廢氣的管配件為聚氯乙烯(PVC),但酸堿性廢氣的成分比較復雜,集成電路一些事故表明,PVC不能滿足防爆要求。現在的集成電路企業所采用的酸堿性廢氣的管配件為內襯聚四氟乙烯的不銹鋼板;熱無處理廢氣一般采用鍍鋅鋼板的材料;有機廢氣和粉塵廢氣一般采用不銹鋼的材料。